1,沉积速率:168小时每150毫米2,钟罩反应器里有9到12对棒.3,原料是金属硅粉,氯气,氢气.4,设备主要是合成炉,精馏塔,储槽,还原炉,氢化炉,还有尾气处理等设备.最后问你个问题:我是新光硅业的,你是哪个单位的?